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各种各样晶圆级涂布机涂装方法开发

信息来源: | 发布日期: 2016-09-20 | 浏览量:
关键词:晶圆级涂布机涂装开发

  随着技术的不断向前发展,各种各样的晶圆级涂装方法已被开发,其中包括薄膜再分配和碰撞、封装、柔性互连,晶圆级底部填充,使用通过晶片的通孔,晶圆减薄、涂布机机器械整合这些新结构的能力。通过改进的集成方法的需求驱动,可靠性和性能,创新的解决方案正在探索研究。一些具有挑战性的领域包括:薄晶圆加工、小型化、问题迟滞,减少互连的疲劳、热稳定性和绝缘提供易于集成和环境影响CVD聚合物形成整体保护。
  
  本文介绍潜在应用的特点(既作为结构材料和涂层的应用)高温气相聚合物(热稳定达350°C和市售的聚对二甲苯)晶圆级封装技术。通过比较和实例,它突出了一个相对较新的,符合RoHS指令标准的一些关键属性,无素(每iec-60754-2)成分多为其所用的聚合物。在纳米和微观尺度的形成,聚对二甲苯提供的解决方案在晶圆级封装技术,包括可靠性和恶劣和腐蚀性环境保护存在的诸多挑战。

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